Я не являюсь экологом по профессии. И вынужден временно заниматься не своими вопросами (хотя, возможно, теперь придется идти учиться)
Проектирую участок химического газофазного осаждения (полупроводниковая промышленность/нанесение тонких пленок) на уже существующем полупроводниковом производстве (построено также совсем недавно) . В процессе используются следующие газы: SiH4 (силан), N2O(оксид азота I), B2H6 (бороводород), PH3 (фосфин), C2F6 (хладон 116, гексафторэтан), H2 (водород). Эти газы участвуют в техпроцессе, который происходит в реакционной камере, после чего неотработанные газы из реактора высоковакуумным насосом подаются на скруббер. Согласно данным производителя скруббера, на выходе они гарантируют следующие показатели:
- B2H6 ≤ 0.1 ppm
- C2F6 ≤ 1 ppm (as HF)
- PH3 ≤ 0.1 ppm
- SiH4 ≤ 5 ppm
(H2, N2O) **
Я хотел бы определиться, что входит в сферу ответственности проектировщика и заказчика в моем случае. Да и в общем случае тоже.
Что должно быть сделано по выбросам на стадии проектирования. Какие необходимо изучить нормативные документы и что конкретно сделать в моей ситуации
До этого я сталкивался с ПДК (санитарными нормами). Вышеуказанные выбросы после скруббера - ниже соответсвующих нормированных среднесуточных значений ПДК.
Теперь мне необходимо определиться, как правильно оформить проект, чтобы не иметь в будущем проблем. (ПМООС, заказать проект ПДВ итд), определиться пошагово с порядком действий.
Заранее огромное спасибо за помощь